2022年7月9日,中國集成電路行業(yè)最具影響力的“2022中國集成電路創(chuàng)新聯(lián)盟大會(huì)”舉行,會(huì)上頒發(fā)了第五屆集成電路產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新獎(jiǎng)(簡(jiǎn)稱“IC創(chuàng)新獎(jiǎng)”)。有研億金憑借“12吋集成電路用超高純銅及其合金靶材量產(chǎn)應(yīng)用”項(xiàng)目榮獲第五屆“IC創(chuàng)新獎(jiǎng)-成果產(chǎn)業(yè)化獎(jiǎng)”。

“IC創(chuàng)新獎(jiǎng)”由中國集成電路創(chuàng)新聯(lián)盟主辦,由國內(nèi)集成電路產(chǎn)業(yè)技術(shù)領(lǐng)軍人才、戰(zhàn)略科學(xué)家以及申報(bào)項(xiàng)目所屬領(lǐng)域的頂級(jí)權(quán)威專家等提名評(píng)審,是集成電路產(chǎn)業(yè)最重要的技術(shù)獎(jiǎng)項(xiàng)之一。集成電路全產(chǎn)業(yè)鏈?zhǔn)蟪晒a(chǎn)業(yè)化獎(jiǎng)包括集成電路設(shè)計(jì)、制造、封測(cè)、設(shè)備、材料全領(lǐng)域,旨在表彰集成電路創(chuàng)新成果產(chǎn)業(yè)化推進(jìn)和市場(chǎng)拓展上取得突出業(yè)績(jī)的單位,材料領(lǐng)域只有兩家企業(yè)獲獎(jiǎng)。有研億金的“12吋集成電路用超高純銅及其合金靶材量產(chǎn)應(yīng)用”成功突破了高端集成電路用超高純銅及其合金靶材制備技術(shù),改變了相關(guān)產(chǎn)品長(zhǎng)期被國外壟斷的被動(dòng)局面,為極大規(guī)模集成電路技術(shù)發(fā)展提供關(guān)鍵支撐,有力地保障了我國集成電路產(chǎn)業(yè)鏈和供應(yīng)鏈安全,獲得該獎(jiǎng)實(shí)至名歸。這是繼公司獲得“集成電路用高純鈷原料及高純鈷靶材制造技術(shù)”和“集成電路用12英寸超高純銅靶材成套制備技術(shù)”后,又一次獲得聯(lián)盟的獎(jiǎng)勵(lì)。

超高純銅及其合金靶材是先進(jìn)集成電路制造工藝中最重要的互連線材料,在12英寸晶圓制造中用于90nm至7nm先進(jìn)制程芯片內(nèi)元件互連,在后道先進(jìn)封裝中用于芯片間高密度封裝。在國家科技重大專項(xiàng)、北京市科技項(xiàng)目等項(xiàng)目支持下,有研億金經(jīng)過10余年不懈努力、探索創(chuàng)新,自主攻克了超高純銅深度凈化、高品質(zhì)熔鑄、微觀組織調(diào)控及高可靠焊接等多項(xiàng)超高純銅及其合金靶材制備中的核心關(guān)鍵技術(shù),產(chǎn)品性能達(dá)到國際先進(jìn)水平,填補(bǔ)了國內(nèi)空白。該項(xiàng)目還實(shí)現(xiàn)了超高純銅原材料的梯次應(yīng)用及低碳綠色、可循環(huán)利用,解決了大規(guī)格、超高純靶材批量穩(wěn)定控制的工程化難題。有研億金已成為國際上僅有的三家掌握99.9999%級(jí)超高純銅及其合金從原材料提純到靶材制備垂直一體化全套技術(shù)的企業(yè),成為我國集成電路超高純銅及其合金靶材核心供應(yīng)商。
“知崇禮卑,止于至善”,有研億金將以此次獎(jiǎng)勵(lì)為契機(jī),繼續(xù)砥礪深耕,致力于關(guān)鍵核心技術(shù)的新突破,努力成為集成電路核心材料領(lǐng)域的領(lǐng)跑者,為我國集成電路產(chǎn)業(yè)的騰飛貢獻(xiàn)自己的力量。